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    多入射角激光橢偏儀(光伏專用)EM01-PV

    多入射角激光橢偏儀(光伏專用)EM01-PV

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    產品名稱: 橢偏儀
    價格: 電議
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    多入射角激光橢偏儀(光伏專用)EM01-PV產品詳細說明
      產品介紹:

      性能特點如下:
      EM01-PV-III多入射角激光橢偏儀(光伏專用)已升級至EMPro-PV極致型多入射角激光橢偏儀,主要升級內容包括:
      單次測量速度提高3倍;
      絨面測量精度提高66%;
      新的儀器外形,整體穩定性增強。
      EM01-PV-III為太陽能電池測試專用激光橢偏儀,用于單晶硅、多晶硅以及薄膜太陽能電池的膜厚和折射率測量,產品提供單晶硅專用太陽能電池樣品臺。

      *特點:
      高精度、高穩定性
      特定角度樣品臺,適合單晶硅太陽能電池的測量
      適合絨面測量
      操作簡單
      快速測量
      快速、高精度樣品方位對準
      多角度測量
      一體化集成設計

      *應用領域:
      單晶、多晶及各種薄膜太陽能電池的折射率和膜厚測量領域,既適合科研院所研究使用,亦適合工廠進行工藝研究分析和產線上產品檢測。

      *性能保證:
      高穩定性的He-Ne激光光源、高精度的采樣方法以及低噪聲探測技術,保證了系統的高穩定性和高準確度
      高精度的光學自準直望遠系統,保證了快速、高精度的樣品方位對準
      穩定的結構設計、可靠的樣品方位對準,結合先進的采樣技術,保證了快速、穩定測量
      分立式的多入射角選擇,可應用于復雜樣品的折射率和絕對厚度的測量
      一體化集成式的儀器結構設計,使得系統操作簡單、整體穩定性提高,并節省空間
      專用軟件方便太陽能電池測試和建模

      技術參數:
      激光波長 632.8nm(He-Ne laser)
      膜厚測量重復性 0.05nm(對于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層)
      折射率精度 5x10-4(對于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層)
      結構 PSCA
      激光光束直徑 <1mm
      入射角度 40°-90°可選,步進5°
      樣品方位調整:
      三維平移調節:±12.5mm(X-Y-Z三軸)
      二維俯仰調節:±4°
      光學自準直系統監視
      樣品臺尺寸 Φ170mm
      單次測量時間 典型1.1s
      推薦測量范圍 0-2000nm
      最大外形尺寸(長x寬x高) 980 x 660 x 430mm (入射角為90o時)

      *可選配件:
      NFS-SiO2/Si二氧化硅納米薄膜標片
      NFS-Si3N4/Si氮化硅納米薄膜標片
      VP01真空吸附泵
      VP02真空吸附泵

     
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